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이상민, 김해중,반도체 제조에서의 물류 자동화 시스템을 위한 동적 할당 장치, 및 그것을 이용하는 물류 자동화 시스템 (DYNAMIC DISPATCHING APPARATUS FOR AUTOMATED MATERIAL HANDLING SYSTEM IN SEMICONDUCTOR MANUFACTORING, AND AUTOMATED MATERIAL HANDLING SYSTEM USING THE SAME), 1020190084469, 2019

(요약)
본 발명의 실시 예에 따른 물류 자동화 시스템은 제 1 및 제 2 웨이퍼 로트들을 생산하는 제 1 설비, 제 2 설비, 및 제 1 및 제 2 저장소들을 포함하는 반도체 제조 시설로부터 제 1 제조 환경 상태 데이터를 수집하고 그리고 제 1 제조 환경 상태 데이터에 기초하여 제 1 시간 구간에 제 1 할당 규칙을 정합시키고 그리고 제 2 시간 구간 에 제 2 할당 규칙을 정합시키는 할당 모델을 호출하는 최적 규칙 예측 모듈, 할당 모델에 기초하여, 제 1 할당 규칙에 따라 제 1 시간 구간에서 제 1 저장소를 선택하고, 제 2 할당 규칙에 따라 제 2 시간 구간에서 제 2 저장 소를 선택하고, 그리고 선택 결과를 포함하는 저장소 선택 정보를 생성하는 저장소 선택 모듈, 및 저장소 선택 정보에 따라 제 1 웨이퍼 로트를 제 1 설비에서 제 1 저장소를 경유하여 제 2 설비로 이동시키고 그리고 제 2 웨 이퍼 로트를 제 1 설비에서 제 2 저장소를 경유하여 제 2 설비로 이동시키는 OHT 모듈을 포함할 수 있다.